深圳奕帆科技一體式銀色固定式氫氣檢測儀，專為半導(dǎo)體、光伏晶圓制造行業(yè)打造，芯片生產(chǎn) CVD 沉積爐、擴(kuò)散爐、氫氣載氣管道、高純氣柜均會使用大量氫氣作為還原保護(hù)氣體，管道焊縫、閥門、接頭微量泄漏存在車間爆炸、產(chǎn)品報(bào)廢雙重風(fēng)險(xiǎn)，本款銀色防爆監(jiān)測設(shè)備可全天候精準(zhǔn)監(jiān)測高純氫氣泄漏，機(jī)身銀色啞光金屬外殼適配潔凈車間無塵裝修，無掉屑、無銹蝕污染晶圓生產(chǎn)環(huán)境，通過潔凈車間設(shè)備防塵防腐標(biāo)準(zhǔn)。

儀器搭載高精度進(jìn)口氫氣專用傳感元件，抗氮?dú)?、氬氣、硅烷等工藝氣體交叉干擾，半導(dǎo)體車間混合工藝氣體環(huán)境下無誤報(bào)；分微量 0-1000ppm 低量程、0-100% LEL 可燃量程兩種規(guī)格，晶圓車間微量高純氫氣泄漏選用 ppm 量程，儲罐、管道大泄漏監(jiān)測選用 LEL 量程，分辨率最高 0.1ppm，可捕捉毫升級微小泄漏，提前預(yù)警避免氫氣滲入潔凈室污染晶圓。整機(jī)電路采用無磁屏蔽設(shè)計(jì)，不會干擾半導(dǎo)體車間精密電子設(shè)備、檢測儀器正常工作，潔凈車間嚴(yán)苛電磁環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行。

機(jī)身全密封銀色防爆結(jié)構(gòu)，無外露縫隙積塵，日常無塵布擦拭即可完成清潔，滿足半導(dǎo)體潔凈車間運(yùn)維標(biāo)準(zhǔn)；IP66 防塵防水，抵御車間清洗噴淋水汽、工藝微量腐蝕霧氣，-20℃~50℃恒溫區(qū)間適配潔凈車間常年控溫工況。正面液晶屏幕支持中英文雙語切換，外資半導(dǎo)體工廠、國產(chǎn)晶圓廠區(qū)均可適配；紅外遙控器遠(yuǎn)程調(diào)試，潔凈車間無需頻繁拆卸儀器破壞無塵環(huán)境，降低車間潔凈度維護(hù)成本。

通訊接口支持 RS485 有線遠(yuǎn)傳，可對接半導(dǎo)體工廠 MES 生產(chǎn)系統(tǒng)、環(huán)保在線廢氣監(jiān)測平臺，氫氣泄漏數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳管控后臺，超標(biāo)自動(dòng)聯(lián)鎖氫氣供氣管道切斷閥、潔凈室排風(fēng)系統(tǒng)，同步推送報(bào)警記錄至中控值班室，第一時(shí)間處置泄漏隱患；模塊化傳感器設(shè)計(jì)，更換耗材無需整機(jī)拆卸，潔凈車間停機(jī)維護(hù)時(shí)長大幅縮短。適配光伏電池片燒結(jié)車間、半導(dǎo)體芯片制造廠房、高純氫氣供氣站、電子實(shí)驗(yàn)室。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓制造氫氣檢測儀廠家可根據(jù)潔凈車間無塵等級定制無油污、無碎屑專用機(jī)型，提供整套車間多點(diǎn)氫氣監(jiān)測布局方案，原廠兩年質(zhì)保，定期上門標(biāo)定校準(zhǔn)服務(wù)。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓制造氫氣檢測儀廠家