深圳奕帆科技自主研發(fā)生產紅色固定式氙氣在線檢測儀，專為半導體芯片、晶圓制造、光刻工藝車間設計，整機采用醒目的工業(yè)紅色防爆機身，區(qū)別于車間內其他氣體監(jiān)測設備，便于車間 EHS 安全管理人員快速識別氙氣監(jiān)測點位，保障光刻氙氣光源、氙氣工藝供氣管道的泄漏監(jiān)測，杜絕高濃度氙氣擠占氧氣導致操作人員窒息的安全隱患。設備核心搭載高精度專用氙氣熱導傳感器，針對半導體車間高純氙氣工況優(yōu)化信號處理算法，有效過濾車間潔凈空氣循環(huán)系統、蝕刻設備產生的微量其他氣體干擾，檢測量程可按需定制 0-5000ppm、0-100% VOL 多規(guī)格，分辨率 0.001% VOL，重復性≤2%，響應時間 T90≤10 秒，能夠毫秒級捕捉管道微小氙氣泄漏，數據實時反饋無延遲，匹配半導體車間高嚴苛安全管控標準。

整機外殼為加厚壓鑄鋁合金紅色防爆殼體，表面雙層氟碳紅色烤漆，長期在潔凈車間恒溫高濕環(huán)境下不掉漆、耐腐蝕，防護等級 IP67，防塵防水防潔凈車間噴淋清潔，設備擁有完整 CNEX 防爆、CPA 計量、消防檢測全套資質，可直接通過半導體工廠安監(jiān)、環(huán)保合規(guī)驗收，無需額外送檢。機身集成一體式紅色聲光報警裝置，屏幕同步紅色文字閃爍提醒，雙重預警機制保障車間人員第一時間察覺氙氣濃度超標；內置三組無源繼電器輸出，可直接聯動車間潔凈區(qū)排風系統、氙氣供氣管道緊急切斷閥，實現泄漏自動排風、斷氣，縮小安全風險范圍。

數據傳輸兼容 4-20mA 模擬量與 RS485 Modbus 數字信號，可接入工廠中控 DCS 系統、奕帆免費工業(yè)云監(jiān)測平臺，管理人員通過電腦網頁、手機 APP 隨時隨地查看潔凈車間各點位實時氙氣濃度、歷史曲線、報警記錄，設備本地自動存儲長達 12 個月完整監(jiān)測數據，支持 U 盤導出、打印歸檔，滿足半導體行業(yè) EHS 安全臺賬、環(huán)保核查資料要求。設備采用模塊化可拆卸傳感器結構，后期傳感器壽命到期后，無需整機拆除、停機停產，單人簡單操作即可完成傳感器更換、現場校準，大幅減少半導體產線停機維護時長，降低工廠運維成本。供電適配工業(yè)通用 24V 直流寬壓電源，適配車間標準化供電線路；默認擴散式采樣，針對光刻設備密閉腔體、地下供氣管道等密閉空間，可加裝泵吸采樣組件主動抽氣檢測，消除檢測盲區(qū)。

奕帆半導體晶圓制造車間氙氣檢測儀廠家，紅色固定式氙氣檢測儀支持量程、采樣方式、通訊功能個性化定制，出廠前全部經過 72 小時高溫、高濕老化校準測試，整機質保 365 天，免費提供設備標定、遠程技術調試服務；半導體企業(yè)批量采購可享工廠直供優(yōu)惠，免費提供現場安裝布線指導、安監(jiān)驗收全套資質文件，一站式解決半導體車間氙氣安全監(jiān)測需求。

奕帆半導體晶圓制造車間氙氣檢測儀廠家